臺積電推再生電子級二氧化碳 打造綠色低碳供應鏈

臺積電。 路透

臺積電（2330）29日更新ESG電子報提到，攜手雙氧水供應商，透過碳捕捉技術回收生產尾氣，純化生成符合半導體制程標準的再生電子級二氧化碳，民國115年5月已導入晶圓十四B廠，預計年減碳約1,200公噸，深化循環經濟價值，打造綠色低碳供應鏈。

臺積公司先進分析暨材料中心處長陳明德指出，臺積公司攜手供應商透過尾氣再生回用並提升氣體品質，有效減少溫室氣體排放與碳足跡，實踐永續供應鏈管理。

臺積電指出，繼攜手氨水供應商導入藍氨，運用碳捕捉與封存（CCS）技術製造氨水後，臺積公司進一步與雙氧水供應商合作，針對生產過程中排放的尾氣進行碳捕捉與純化，轉化爲符合半導體制程品質標準的電子級二氧化碳，深化資源循環價值。民國115年5月，再生電子級二氧化碳已成功導入晶圓十四B廠，預估年減碳約1,200公噸，強化綠色供應鏈韌性。

雙氧水與電子級二氧化碳皆爲半導體制程的重要化學品。由於生產雙氧水所需的氫氣，其上游制氫過程會排放含有二氧化碳的尾氣，爲提升供應鏈永續性並實踐循環經濟，臺積公司與供應商共同規畫於氫氣工廠端增設專用回收管線系統，捕捉經燃燒或反應後排放的尾氣，導入原料儲存槽集中收集，再借由吸脫附塔移除殘留氫氣，並通過純化塔分離雜質、提升純度，最後生成電子級二氧化碳。

爲使再生電子級二氧化碳達到半導體制程嚴格的高純度標準，臺積公司不僅輔導供應商在生產階段建立完善的品質保證證明（CoA）機制，確保每批次產品均符合規範外，亦提供專業技術支援，包括協助供應商進行尾氣成分分析與純度檢測，並引導調整純化過程中的操作參數，進而提升分離效率及氣體純度。同時，協助供應商優化廠區產線運作與槽車衝吹標準以降低雜質風險，並透過現場稽覈檢視生產管理流程，全面精進供應商技術能力與品質控管水準。

臺積電在電子報也提到，公司致力打造綠色低碳供應鏈，預計民國115年年底晶圓十五A廠、晶圓十五B廠導入再生電子級二氧化碳後，將實現年減碳逾6,000公噸；透過深化與供應商合作，落實資源循環再利用理念，爲淨零排放目標全力以赴。